專業(yè)的TC Wafer、RTD Wafer、On Wafer測溫系統(tǒng)提供精確控溫保障
成熟測溫系統(tǒng)軟件，具備Mapping功能，溫度情況一目了然
多尺寸wafer可供選擇，滿足客戶不同wafer尺寸控溫要求
AGS 晶圓型間隙量測試片
AMS 晶圓型多功能測試片
ALS晶圓型水平測試校準(zhǔn)片
測溫材質(zhì)可選擇硅晶片、藍(lán)寶石等
提供2”、3”、4”、6”、8”、12”晶圓供選擇
晶圓形狀可有圓形和方式選擇
測溫點數(shù)：1-81點
配備專業(yè)的售前和售后服務(wù)工程師
提供售前產(chǎn)品咨詢、選型、購買和售后安裝、使用、維護服務(wù)
專業(yè)的維修服務(wù)為客戶進(jìn)一步提高經(jīng)濟效益
廣東瑞樂半導(dǎo)體科技有限公司
Guangdong Ruile Semi technology Co.,Ltd
廣東瑞樂半導(dǎo)體科技有限公司（以下簡稱“瑞樂半導(dǎo)體”）成立于2016年，是專業(yè)的晶圓測溫系統(tǒng)和晶圓校準(zhǔn)成套系統(tǒng)的高科技企業(yè)，主要產(chǎn)品有TC Wafer晶圓測溫系統(tǒng)、RTD Wafer晶圓測溫系統(tǒng)（有線/無線）、On Wafer無線晶圓測溫系統(tǒng)，AMS無線校準(zhǔn)測量晶圓系統(tǒng)、ATS無線校準(zhǔn)測量晶圓系統(tǒng)等，為半導(dǎo)體企業(yè)提供高精度的晶圓測溫解決方案和晶圓校準(zhǔn)測量解決方案。主要測溫應(yīng)用場景包括：半導(dǎo)體制程中的爐管、勻膠顯影機、PVD Chamber 、? CVD Chamber、RTP/RTA Chamber 、去膠Strippers、靜電卡盤（ESC）、加熱板 Hot Plates、致冷盤 Cold Plates、后段探針臺、等離子蝕刻、離子注入、清洗、化學(xué)機械拋光、蒸鍍等場景，以及半導(dǎo)體制程中涂膠顯影、退火、刻蝕、薄膜沉積，制程腔體溫度、濕度、位置、尺寸校準(zhǔn)，晶圓傳輸狀態(tài)測量等。
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